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當前看點!阿斯麥與imec簽署備忘錄 共同開發最先進high-NA EUV微影試驗制程

來源: 科技頭條 ┆ 時間: 2023-06-30 10:02:19

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據科創板日報，比利時微電子研究中心(imec)與阿斯麥(ASML)今日宣布，雙方已簽署備忘錄加強合作，共同開發最先進high-NA極紫外光(EUV)微影試驗制程。雙方指出，該試驗制程的目標是協助采用半導體技術的所有產業，并提供一套能在未來支援創新的原型設計平臺。

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